[实用新型]一种金属层尖端楔形化的柱型等离激元纳米聚焦探针

权利要求书

1.一种金属层尖端楔形化的柱型等离激元纳米聚焦探针，其特征在于：该探针结构为柱对称结构，由内向外依次包括Si介质光纤、SiO₂等厚介质膜及贵金属膜，Si介质光纤、SiO₂等厚介质膜及贵金属膜的末端均为半球状，其中Si介质光纤和SiO₂等厚介质膜末端共球心，贵金属膜末端球心在Si介质光纤和SiO₂等厚介质膜球心之下h处，贵金属膜厚度沿SiO₂等厚介质膜表面向探针尖端逐渐减小至贵金属膜的最薄厚度t_m。

2.根据权利要求1所述的一种金属层尖端楔形化的柱型等离激元纳米聚焦探针，其特征在于：所述Si介质光纤半径为R₁，R₁＝916nm；SiO₂等厚介质膜半径为R₂，R₂＝1000nm；贵金属膜半径为R₃，R₃＝1085nm，SiO₂等厚介质膜厚度为t₁，t₁＝84nm，贵金属膜厚度为t₂，t₂＝85nm。

3.根据权利要求1所述的一种金属层尖端楔形化的柱型等离激元纳米聚焦探针，其特征在于：所述Si介质光纤为高折射率介质，折射率n₁＝3.445；SiO₂等厚介质膜为低折射率介质，折射率n₂＝1.445。

4.根据权利要求1所述的一种金属层尖端楔形化的柱型等离激元纳米聚焦探针，其特征在于：所述Si介质光纤和SiO₂等厚介质膜末端的球心为O₁，贵金属膜末端球心为O₂，球心O₁在贵金属膜末端球心O₂之上高h处，h为80nm，贵金属膜的最薄厚度t_m为5nm。

5.根据权利要求1所述的一种金属层尖端楔形化的柱型等离激元纳米聚焦探针，其特征在于：所述贵金属膜厚度t₂的取值范围为81nm≤t₂≤91nm。

6.根据权利要求1所述的一种金属层尖端楔形化的柱型等离激元纳米聚焦探针，其特征在于：所述贵金属为Au或Ag。

7.根据权利要求1所述的一种金属层尖端楔形化的柱型等离激元纳米聚焦探针，其特征在于：所述柱对称结构的入射光为线偏振光或径向偏振光入射，所述径向偏振光的波长为632.8nm，从探针底部垂直入射。