[实用新型]一种硅片晶花检测系统有效
| 申请号： | 202020592633.7 | 申请日： | 2020-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN212341021U | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 陈维龙;吴寅 | 申请（专利权）人： | 无锡维胜威信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84 |
| 代理公司： | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人： | 曹玉清 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片晶花检测系统，包括设置在硅片上方的工业相机和两个对称的光源，所述光源包括壳体、LED光源和半球形聚光镜，所述半球形聚光镜前端还设置有渐变滤镜，所述渐变滤镜通过固定圈设置在壳体前端，所述单个光源与相机之间的夹角为25‑30°，所述两个光源之间的夹角为50‑60°，所述光源高度高于相机。本实用新型结构简单，可对硅片进行高亮度及更均匀的补光，从而便于相机获得高质量的图像，以提高检测效率及检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 检测 系统 | ||
【主权项】：
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