[实用新型]一种硅片晶花检测系统有效

专利信息
申请号: 202020592633.7 申请日: 2020-04-20
公开(公告)号: CN212341021U 公开(公告)日: 2021-01-12
发明(设计)人: 陈维龙;吴寅 申请(专利权)人: 无锡维胜威信息科技有限公司
主分类号: G01N21/84 分类号: G01N21/84
代理公司: 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 代理人: 曹玉清
地址: 214135 江苏省无锡市新吴区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 检测 系统
【说明书】:

实用新型公开了一种硅片晶花检测系统,包括设置在硅片上方的工业相机和两个对称的光源,所述光源包括壳体、LED光源和半球形聚光镜,所述半球形聚光镜前端还设置有渐变滤镜,所述渐变滤镜通过固定圈设置在壳体前端,所述单个光源与相机之间的夹角为25‑30°,所述两个光源之间的夹角为50‑60°,所述光源高度高于相机。本实用新型结构简单,可对硅片进行高亮度及更均匀的补光,从而便于相机获得高质量的图像,以提高检测效率及检测精度。

技术领域:

本实用新型涉及太阳能硅片检测技术领域,尤其涉及一种硅片晶花检测系统。

背景技术:

在大规模生产太阳能硅片过程中,由于生产工艺的影响,部分硅片表面会产生颜色深浅不同的花纹(也称晶花),用户常常要求厂家对不同花纹的硅片进行分类供应,由于一天的硅片生产量相当大,同时硅片极易碎,人工检测往往效率低下,检测不精确,且成本高,因此视觉检测应用到硅片晶花检测上可提高检测效率、检测精度并降低检测成本,但由于硅片其材料特殊,表面晶花本身也比较难发现,因此采用视觉检测时需获取高质量的图像才能保证检测的精确性,然而现有的视觉检测系统在获取硅片图像时通常会出现图像颜色不均匀、图像四周有色差等问题,而这些问题将直接影响检测的精确性。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本实用新型的总体背景的理解,而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

实用新型内容:

本实用新型的目的在于提供一种硅片晶花检测系统,从而克服上述现有技术中的缺陷。

为实现上述目的,本实用新型提供了一种硅片晶花检测系统,包括设置在硅片上方的工业相机和两个对称的光源,所述光源包括壳体、LED光源和半球形聚光镜,所述半球形聚光镜前端还设置有渐变滤镜,所述渐变滤镜通过固定圈设置在壳体前端,所述单个光源与相机之间的夹角为25-30°,所述两个光源之间的夹角为50-60°,所述光源高度高于相机。

所述LED光源和壳体底部之为散热通道。

所述渐变滤镜与壳体之间为可拆卸式连接。

与现有技术相比,本实用新型一方面具有如下有益效果:

本实用新型在LED光源前段增加半球形聚光镜,LED光源发出的光经聚合后再射出,可在硅片表面进行高亮度补光,聚光镜前端设置渐变滤镜,对光源进行滤光匀光处理,使得补光更均匀;此外两个光源从相机两侧上方并以一定角度共同打到硅片上,使得硅片表面能够获得更高亮度的补光;本实用新型结构简单,可对硅片进行高亮度及更均匀的补光,从而便于相机获得高质量的图像,以提高检测效率及检测精度。

附图说明:

图1为本实用新型的一种硅片晶花检测系统的示意图;

附图标记为:1-工业相机、2-光源、21-壳体、22-LED光源、23-半球形聚光镜、24-渐变滤镜、25-固定圈、26-散热通道。

具体实施方式:

下面对本实用新型的具体实施方式进行详细描述,但应当理解本实用新型的保护范围并不受具体实施方式的限制。

除非另有其它明确表示,否则在整个说明书和权利要求书中,术语“包括”或其变换如“包含”或“包括有”等等将被理解为包括所陈述的元件或组成部分,而并未排除其它元件或其它组成部分。

如图1所示,一种硅片晶花检测系统,包括设置在硅片上方的工业相机1和两个对称的光源2,所述光源2包括壳体21、LED光源22和半球形聚光镜23,所述半球形聚光镜23前端还设置有渐变滤镜24,所述渐变滤镜24通过固定圈25设置在壳体21前端,所述单个光源2与相机1之间的夹角为25-30°,所述两个光源2之间的夹角为50-60°,所述光源2高度高于相机1。

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