[实用新型]一种电子级超纯氨水的制备装置有效
| 申请号： | 202020539089.X | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN212356561U | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 冯烈;顾海燕;许京伟;金波;张金霞 | 申请（专利权）人： | 浙江建业化工股份有限公司;浙江建业微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01C1/02 | 分类号： | C01C1/02 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 311600 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及电子化学品生产设备领域，提供一种电子级超纯氨水的制备装置，包括包括洗涤装置与吸收装置，其中洗涤装置包括高纯氨气进气管、第二超纯水进水管、洗涤塔，吸收装置包括超纯氨气进气管、超纯水进水管、吸收塔、出料管；吸收塔为逆流操作的填料塔，吸收底部连接有一循环管且循环管的另一端与吸收塔的侧壁相连，循环管从下端到上端依次设有隔膜泵、过滤单元、检测单元，检测单元与循环管上端之间的循环管上连接有出料管。该装置经过洗涤、吸收制得电子级超纯氨水，吸收装置部分循环充分，循环效率高，成本低；且料液在循环时还通过设在循环管上的过滤单元，可以去除在洗涤与吸收过程中可能引入的杂质，提高了终产品的纯度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 级超纯 氨水 制备 装置 | ||
【主权项】：
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