[实用新型]一种电子级超纯氨水的制备装置

权利要求书

1.一种电子级超纯氨水的制备装置，包括洗涤装置与吸收装置，其特征是，所述的吸收装置包括超纯氨气进气管（1）、第一超纯水进水管（2）、吸收塔、出料管（7），所述吸收塔包括位于其上部的吸收塔塔体（3）与位于下部的吸收塔塔釜（4），吸收塔塔釜底部连接有第一循环管（5）且第一循环管（5）的另一端与靠近吸收塔顶部的吸收塔塔体侧壁相连，将第一循环管（5）与吸收塔塔釜（4）底部连接的一端设为第一循环管下端，将第一循环管（5）与靠近吸收塔顶部的吸收塔塔体侧壁相连的一端设为第一循环管上端，第一循环管（5）从下端到上端依次设有第一隔膜泵（5-1）、过滤单元（5-2）、检测单元（5-3）且各部件进、出料的两端与第一循环管（5）相连，检测单元与第一循环管上端之间的第一循环管（5）上固定连接有出料管（7），所述的超纯氨气进气管（1）与第一超纯水进水管（2）均与吸收塔塔体侧壁固定连接，且超纯氨气进气管（1）的位置低于第一超纯水进水管（2），吸收塔塔体顶部固定连接有尾气处理管（6），吸收塔塔顶还设有位置低于尾气处理管（6）的除沫装置（8）；所述的洗涤装置包括高纯氨气进气管（9）、第二超纯水进水管（10）、洗涤塔（11），高纯氨气进气管（9）与第二超纯水进水管（10）均设于洗涤塔塔壁上且高纯氨气进气管（9）的位置低于第二超纯水进水管（10），洗涤塔（11）的顶部与吸收塔的超纯氨气进气管（1）相连。

2.根据权利要求1所述的一种电子级超纯氨水的制备装置，其特征是，所述吸收塔为填料塔，吸收塔塔体（3）的内部自上而下依次设有分布器（3-1）、第一填料（3-2）、第二填料（3-3），超纯氨气进气管（1）与吸收塔塔体侧壁连接处位于第二填料（3-3）的下方，第一超纯水进水管（2）与吸收塔塔体侧壁连接处位于分布器（3-1）上方。

3.根据权利要求1所述的一种电子级超纯氨水的制备装置，其特征是，所述的吸收塔塔体（3）与吸收塔塔釜（4）均为碳钢或不锈钢制成、并具有NEW PTFE或PFA内衬的圆柱形结构，吸收塔塔釜（4）的直径大于吸收塔塔体（3）的直径，吸收塔塔釜顶部与吸收塔塔体底部之间用与吸收塔塔釜和吸收塔塔体相同的材料密封连接。

4.根据权利要求1所述的一种电子级超纯氨水的制备装置，其特征是，所述洗涤塔（11）的底部连接有第二循环管（12），第二循环管（12）的另一端与洗涤塔（11）的侧壁相连，第二循环管上设有有第二隔膜泵（12-1）且第二隔膜泵进、出料的两端与第二循环管（12）相连。

5.根据权利要求4所述的一种电子级超纯氨水的制备装置，其特征是，所述的第一循环管（5）上还设有第一冷却循环单元（5-4），第一冷却循环单元（5-4）的料液进口、料液出口与第一循环管（5）相连；所述的第二循环管（12）上还设有第二冷却循环单元（12-2），第二冷却循环单元（12-2）的料液进口、料液出口与第二循环管（12）相连。

6.根据权利要求3所述的一种电子级超纯氨水的制备装置，其特征是，所述的吸收塔塔釜处设有液位计（4-1），以测量塔釜内液面高度。

7.根据权利要求1至6中任意一条权利要求所述的一种电子级超纯氨水的制备装置，其特征是，所述过滤单元（5-2）的滤芯采用全氟材质，滤芯精度为亚微米级。

8.根据权利要求2所述的一种电子级超纯氨水的制备装置，其特征是，所述的第一填料（3-2）与第二填料（3-3）为PFA材质，第一填料（3-2）与第二填料（3-3）的下部分别设有支撑装置（3-4）。

9.根据权利要求8所述的一种电子级超纯氨水的制备装置，其特征是，所述的吸收塔顶部设有驱动装置（13），塔体内部在超纯水进水管下方还设有第三填料（3-5）与第四填料（3-6），第三填料（3-5）与第四填料（3-6）在分布器（3-1）上方且底部也均设有支撑装置；驱动装置（13）的两根输出杆分别与第三填料（3-5）、第四填料（3-6）的支撑装置连接，驱动装置（13）可以带动第三填料（3-5）与第四填料（3-6）同轴逆向旋转。

10.根据权利要求8所述的一种电子级超纯氨水的制备装置，其特征是，所述的分布器（3-1）包括上下分布的第一分布器（3-11）与第二分布器（3-12）；所述的吸收塔顶部设有驱动装置（13），驱动装置（13）的两根输出杆分别与第一分布器（3-11）、第二分布器（3-12）连接，驱动装置（13）可以带动第一分布器（3-11）与第二分布器（3-12）同轴逆向旋转。