[实用新型]用于掩膜版光刻胶的缓存装置

摘要

本实用新型公开了一种用于掩膜版光刻胶的缓存装置，包括桶体、桶盖和密封圈，桶盖上设置有进气管和进液管，桶体底部设置有出液管，所述桶盖上还设置有清洗管，清洗管伸入桶体内，清洗管伸入桶体一端的侧面上均匀布置有圆孔喷嘴，桶体底部设置有废液排出管；本实用新型通过在清洁管内通入高压的清洁药液，清洁药液再通过圆孔喷嘴喷射至桶体的内壁，将桶体内壁残留的光刻胶清洁干净，清洁后的废液再通过废液排出管排出桶体；相比于传统拆卸式的清洁方式而言，本实用新型的清洁过程无需拆卸装置，省时省力，自动化程度高，提高了工作效率，降低了清洁风险，可更好的保护设备。