[实用新型]用于掩膜版光刻胶的缓存装置

权利要求书

1.用于掩膜版光刻胶的缓存装置，包括桶体(1)、桶盖(2)和密封圈(3)，桶盖(2)上设置有进气管(21)和进液管(22)，桶体底部设置有出液管(11)，其特征在于，所述桶盖(2)上还设置有清洗管(23)，清洗管(23)伸入桶体(1)内，清洗管(23)伸入桶体(1)一端的侧面上均匀布置有圆孔喷嘴(231)，桶体底部设置有废液排出管(12)。

2.如权利要求1所述的用于掩膜版光刻胶的缓存装置，其特征在于，所述桶体(1)侧面设置有沿桶体高度方向布置的液位显示管(4)，液位显示管(4)与桶体(1)连通，液位显示管(4)上自上而下依次设置有高位传感器(41)和低位传感器(42)。

3.如权利要求1所述的用于掩膜版光刻胶的缓存装置，其特征在于，所述桶体(1)口部设置有台阶(13)，所述密封圈(3)布置在台阶(13)上，桶体(1)和桶盖(2)螺纹连接。

4.如权利要求1所述的用于掩膜版光刻胶的缓存装置，其特征在于，所述进气管(21)、进液管(22)和清洗管(23)均与桶盖(2)螺纹连接。

5.如权利要求1所述的用于掩膜版光刻胶的缓存装置，其特征在于，所述出液管(11)和废液排出管(12)均与桶体(1)螺纹连接。