[实用新型]一种高真空样品储存装置

摘要

本实用新型公开了一种高真空样品储存装置，属于扫描电镜、透射电镜、半导体真空配件技术领域。它包括主室，所述主室一侧连通有真空规，所述主室的顶部连通有对接室。连通机构的设计能够保证各个样品仓之间的相互独立，真空环境互不干扰，极大程度上提高了样品的纯净度；装卸样品仓时，由于真空模块与外界隔绝，所以不用反复启停，进而大大提高了效率；内筒与外筒之间的互锁机构保障了样品仓与对接室及连通机构的安全连接，避免了误操作所带来的影响；装样操作简单、方便。