[实用新型]一种高真空样品储存装置

说明书

本实用新型公开了一种高真空样品储存装置，属于扫描电镜、透射电镜、半导体真空配件技术领域。它包括主室，所述主室一侧连通有真空规，所述主室的顶部连通有对接室。连通机构的设计能够保证各个样品仓之间的相互独立，真空环境互不干扰，极大程度上提高了样品的纯净度；装卸样品仓时，由于真空模块与外界隔绝，所以不用反复启停，进而大大提高了效率；内筒与外筒之间的互锁机构保障了样品仓与对接室及连通机构的安全连接，避免了误操作所带来的影响；装样操作简单、方便。

技术领域

本实用新型涉及一种高真空样品储存装置，属于扫描电镜、透射电镜、半导体真空配件技术领域。

背景技术

半导体及电镜行业中的样品需要保持无污染状态，才能最大程度的保证实验的科学性及准确性，目前市场上针对样品储存主要有两种，一种是放在干燥箱，只能少量避免水汽对样品的污染；另外一种是放在真空环境下，极大程度上保护了样品不受空气污染，目前国外有此类样品托的储存方案，但是各储存仓联通，取样和放样的过程会使其他储存仓同时暴露在大气环境下，这样就会影响其他样品的储存效果。

实用新型内容

本实用新型针对上述背景所提及的问题，而采取以下技术方案来实现：

一种高真空样品储存装置，包括主室，所述主室一侧连通有真空规，所述主室的顶部连通有对接室，所述对接室的一端通过连通机构连通有样品仓，所述样品仓的内部设有铜网装夹机构，所述连通机构包括外筒、中筒和内筒，所述对接室一端与外筒相连通，所述中筒的一端套设在外筒另一端内部，且所述中筒伸入外筒的一端侧壁上开设有多个开口，且所述中筒伸入外筒一端端部密封设置，所述中筒上固定套设有第一O型圈，所述内筒的一端通过互锁机构套设在中筒的另一端内部，所述内筒另一端通过头部螺纹与样品仓相连通。

作为优选实例，所述样品仓包括壳体、盖板和视窗，所述盖板和视窗利用无影胶粘连，壳体有螺纹孔与内筒头部螺纹相配合，壳体和内筒对接处起密封作用的是第二O型圈，所述壳体和盖板之间连接处设有对所述壳体和盖板之间连接处起密封作用的第三O型圈，所述样品仓上的壳体通过定位销与铜网装夹机构固定连接。

作为优选实例，所述互锁机构包括定位环，所述定位环通过顶紧螺丝与中筒相固定，所述内筒上设有凸起，所述定位环上设有与凸起相匹配的凹槽，当所述内筒上的凸起与定位环凹槽相卡接，当所述内筒旋转°时，所述内筒与定位环呈锁死状态，所述定位环上还通过圆柱销转动连接有限位条。

作为优选实例，当所述限位条在圆柱销上相对于定位环转动到度时，限位条在重力作用下靠在中筒的外圆周面，一直保持度状态，此时所述中筒上的多个开口与对接室不连通，且所述第一O型圈密封在中筒与外筒连通处。

作为优选实例，当所述限位条在圆柱销上相对于定位环转动到度时，推动样品仓，由于内筒和定位环接触，连同中筒运动，直到外筒和限位条的一侧相抵，此时所述中筒上的多个开口均与对接室相连通，且所述第一O型圈密封中筒与对接室连通处。

作为优选实例，所述主室的底部与外部真空泵相连通，且所述主室上设有用于外部真空泵和主室二者之间通断的一级阀门。

作为优选实例，所述主室上还设有用于主室与对接室二者之间通断的二级阀门。

作为优选实例，所述对接室的形状为六边形，所述样品仓的个数为六个，六个所述样品仓的一端分别通过六个连通机构与对接室相连通，每个所述样品仓的内部设有四个铜网装夹机构。

作为优选实例，所述对接室与外筒二者之间连通处设有对对接室和外筒二者连通处起密封作用的第四O型圈，所述外筒与中筒二者之间连通处还设有对外筒与中筒二者之间连通处起密封作用的第五O型圈，所述中筒和内筒二者之间连通处设有对中筒和内筒二者之间连通处起密封作用的第六O型圈。

作为优选实例，中筒还设有槽口，槽口处配合设有波珠螺丝。

本实用新型的有益效果是：