[实用新型]一种用于CZ法拉制硅单晶的通用夹头装置有效
| 申请号： | 202020408190.1 | 申请日： | 2020-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN211921745U | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 陈娟;王思远;周小渊;柯小龙;马占东;周志鹏;苏波;董长海 | 申请（专利权）人： | 宁夏中晶半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/32 | 分类号： | C30B15/32;C30B29/06 |
| 代理公司： | 银川长征知识产权代理事务所 64102 | 代理人： | 马长增;姚源 |
| 地址： | 755100 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种用于CZ法拉制硅单晶的通用夹头装置,夹头本体从上往下呈圆柱状结构，底端部位设为锥形结构；所述夹头本体沿轴向中心部位开设有通孔，从上往下依次为重锤安装孔、籽晶安装孔和籽晶定位孔；所述夹头本体沿籽晶安装孔和籽晶定位孔位置开设有贯通外壁的籽晶安装口；所述夹头本体沿外壁上下位置分别开设有贯通籽晶安装孔的拉晶观察孔和透气孔；所述夹头本体沿外壁水平方向开设有贯通籽晶定位孔的籽晶固定孔；所述夹头本体沿外壁两侧对称设置有夹持口。益效果在于：安装和拆卸大小头锥形籽晶的过程中不需要取下石墨夹头，直接通过夹头侧方的籽晶安装口即可拆卸安装籽晶，减少了重锤及夹头的拆卸磨损，对生产而言，简化了籽晶加料步骤，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 cz 法拉 制硅单晶 通用 夹头 装置 | ||
【主权项】：
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