[实用新型]一种用于CZ法拉制硅单晶的通用夹头装置有效
| 申请号： | 202020408190.1 | 申请日： | 2020-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN211921745U | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 陈娟;王思远;周小渊;柯小龙;马占东;周志鹏;苏波;董长海 | 申请（专利权）人： | 宁夏中晶半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/32 | 分类号： | C30B15/32;C30B29/06 |
| 代理公司： | 银川长征知识产权代理事务所 64102 | 代理人： | 马长增;姚源 |
| 地址： | 755100 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 cz 法拉 制硅单晶 通用 夹头 装置 | ||
1.一种用于CZ法拉制硅单晶的通用夹头装置,其特征在于：夹头本体(1)从上往下呈圆柱状结构，底端部位设为锥形结构；所述夹头本体(1)沿轴向中心部位开设有通孔，从上往下依次为重锤安装孔(11)、籽晶安装孔(12)和籽晶定位孔(13)；所述夹头本体(1)沿籽晶安装孔(12)和籽晶定位孔(13)位置开设有贯通外壁的籽晶安装口(14)；所述夹头本体(1)沿外壁上下位置分别开设有贯通籽晶安装孔(12)的拉晶观察孔(15)和透气孔(16)；所述夹头本体(1)沿外壁水平方向开设有贯通籽晶定位孔(13)的籽晶固定孔(17)；所述夹头本体(1)沿外壁两侧对称设置有夹持口(18)。
2.如权利要求1所述的用于CZ法拉制硅单晶的通用夹头装置,其特征在于：所述籽晶安装孔(12)的直径为大小头锥形籽晶的大头安装尺寸，籽晶定位孔(13)的直径为大小头锥形籽晶的小头安装尺寸。
3.如权利要求1所述的用于CZ法拉制硅单晶的通用夹头装置,其特征在于：所述籽晶安装口(14)分为上开口(141)和下开口(142)，上开口(141)的开口宽度与大小头锥形籽晶的大头尺寸相同，下开口(142)的开口宽度与大小头锥形籽晶的小头尺寸相同。
4.如权利要求3所述的用于CZ法拉制硅单晶的通用夹头装置,其特征在于：所述籽晶安装口(14)的上开口(141)和下开口(142)的过渡位置高于籽晶安装孔(12)和籽晶定位孔(13)的过渡位置，并且相差高度大于大小头锥形籽晶的大头部位的高度。
5.如权利要求1所述的用于CZ法拉制硅单晶的通用夹头装置,其特征在于：所述拉晶观察孔(15)和透气孔(16)分别开设在夹头本体(1)不同轴向侧面上。
6.如权利要求1所述的用于CZ法拉制硅单晶的通用夹头装置,其特征在于：所述籽晶固定孔(17)的轴线与籽晶定位孔(13)的轴线错开设置。
7.如权利要求1所述的用于CZ法拉制硅单晶的通用夹头装置,其特征在于：所述夹持口(18)设置在籽晶安装口(14)上沿口与夹头本体(1)上沿之间的侧壁上。
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