[实用新型]一种旋转密封装置

摘要

本实用新型公开了一种旋转密封装置，涉及晶圆加工技术领域。包括座体与旋转轴，所述旋转轴贯穿设置于座体内，所述旋转轴位于座体左端内部的一段从左至右依次套装有第一油封、轴环、第二油封及第一轴承。该旋转密封装置，在使用时，通过真空吸盘吸住晶圆，利用外部电机带动旋转轴转动，使真空吸住的晶圆随之一起旋转，在旋转轴转动的过程中，第一油封、第二油封用于真空密封，第三油封用于隔离外界水及水汽，起到保护第一轴承和第二轴承的目的，能够大大提高密封性，达到良好密封性能的效果，避免了晶圆清洗时，旋转轴与座体的连接部容易进水，从而导致旋转轴与座体配合不佳、影响旋转速度进而导致使用寿命短的问题。