[实用新型]一种金属管件内壁镀膜系统

摘要

本实用新型公开了一种金属管件内壁镀膜系统，包括：镀膜电源、固定装置、抽真空装置、左阳极板、右阳极板、工艺气路管道以及基座；工艺气路管道为一接地的导电性管道，与左、右阳极板共同组合以形成闭合阳极；通电状态下，工艺气体被离化为正离子和电子，在待沉积管件的内壁重新组合形成所需固态膜层。本实用新型提供的金属管件内壁镀膜系统，利用工艺气路管道参与阳极系统，与左、右阳极板共同组合，形成闭合阳极系统，在待沉积管件内形成均匀的电场分布，同时利用左、右抽气腔体真空控制系统维持待沉积管道内部气体的均匀分布，实现待沉积管件内壁固态膜层的均匀化，提高所形成的固态膜层的质量，以便应用于要求较高的场合。