[实用新型]一种半导体器件测试探针平台有效
| 申请号: | 202020318049.2 | 申请日: | 2020-03-12 |
| 公开(公告)号: | CN211826181U | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
| 发明(设计)人: | 郭俊春 | 申请(专利权)人: | 重庆盛科纳科技有限公司 |
| 主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067 |
| 代理公司: | 重庆千石专利代理事务所(普通合伙) 50259 | 代理人: | 黄莉 |
| 地址: | 400000 重庆市九*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种半导体器件测试探针平台,包括底座、固定在所述底座上的测试放置台、所述底座上还放置有通过导线连接的体式显微镜、控制箱和操作屏;其特征在于:所述测试放置台包括顶部设有检测圆台;所述底座上还设有探针定位装置,该探针定位装置与所述测试放置台滑动连接;所述探针定位装置包括与所述底座固定的支承座,所述支承座顶端活动连接有滑动槽,在该滑动槽内设置有滑动导轨;与所述滑动导轨滑动连接有横向定位装置和纵向定位装置。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 半导体器件 测试 探针 平台 | ||
【主权项】:
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