[实用新型]一种半导体器件测试探针平台

说明书

本实用新型公开了一种半导体器件测试探针平台，包括底座、固定在所述底座上的测试放置台、所述底座上还放置有通过导线连接的体式显微镜、控制箱和操作屏；其特征在于：所述测试放置台包括顶部设有检测圆台；所述底座上还设有探针定位装置，该探针定位装置与所述测试放置台滑动连接；所述探针定位装置包括与所述底座固定的支承座，所述支承座顶端活动连接有滑动槽，在该滑动槽内设置有滑动导轨；与所述滑动导轨滑动连接有横向定位装置和纵向定位装置。

技术领域

本实用新型属于探针测试领域，具体涉及一种半导体器件测试探针平台。

背景技术

以一般电路板为例，其在板体上插设各种主、被动组件及相关电路后，为确保其正常运作，通常会以探针装置进行必要的测试。

例如公告号：CN2519281Y所提出的一种探针测试装置，其使成排探针被定位于两承架纸件，并在此等承架内表面预设气动导轨装置，使成排探针在测试时可因受控而先行上升，并驱使该等成排探针垂直偏转使所有探针朝下，然后可驱动成排探针下降触接受测电路板进行探测。但上述探针测试装置结构过于复杂。

基于此，特提出了一种半导体器件测试探针平台。

实用新型内容

针对上述现有技术的不足，本实用新型所要解决的技术问题是：通过简单的探针定位装置结构对探针进行位移控制。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下的技术方案：一种半导体器件测试探针平台，包括底座、固定在所述底座上的测试放置台、所述底座上还放置有通过导线连接的体式显微镜、控制箱和操作屏；其特征在于：所述测试放置台包括顶部设有检测圆台；所述底座上还设有探针定位装置，该探针定位装置与所述测试放置台滑动连接；

所述探针定位装置包括与所述底座固定的支承座，所述支承座顶端活动连接有滑动槽，在该滑动槽内设置有滑动导轨；与所述滑动导轨滑动连接有横向定位装置和纵向定位装置。

优选的，所述探针定位装置通过探针臂与所述测试放置台滑动连接，且该探针臂连接所述测试放置台端处设有探针，且该探针伸入所述检测圆台内。

优选的，所述检测圆台设有两层，上层为玻璃窗口，下层为放置台，且上层和下层铰接。

优选的，所述滑动槽侧壁上设有升降装置，所述滑动槽的底部与所述支承座的顶部之间设有伸缩柱，该伸缩柱通过所述升降装置控制伸缩。

优选的，所述横向定位装置的侧壁和所述纵向定位装置的顶部分别设有伸缩柱和与伸缩柱配合的升降装置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：通过简单的结构能够达到对探针的位移；通过检测圆台、体式显微镜、控制箱和操作屏的配合操作对探针工作进行监测。

附图说明

图1为本实用新型测试探针平台的结构示意图；

图2为图1中检测圆台的结构示意图；

图3为图1中探针定位装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的详细说明。