[实用新型]真空电子器件用充压装置有效
| 申请号： | 202020311110.0 | 申请日： | 2020-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN212376833U | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 滕冰 | 申请（专利权）人： | 梧跃自动化科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F04B41/02 | 分类号： | F04B41/02;F04B39/12;F04B39/16;F04B39/14;F04B39/06;F04B39/10 |
| 代理公司： | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人： | 周高 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了真空电子器件用充压装置，包括用于支撑的机箱装置，还包括用于产生真空的动力装置和用于充压的头部装置，所述头部装置对称分布有4个。本实用新型所述的真空电子器件用充压装置，通过头部装置的设置，缓冲真空泵产生的波动，保证充压的平稳均匀，通过头部装置的设置，保证微尘沉淀，便于拆装清理，通过按压开关的设置，便于操作充压，减少漏气。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 电子器件 用充压 装置 | ||
【主权项】：
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