[实用新型]真空电子器件用充压装置

权利要求书

1.真空电子器件用充压装置，包括用于支撑的机箱装置(1)，其特征在于：还包括用于产生真空的动力装置(2)和用于充压的头部装置(3)，所述头部装置(3)对称分布有4个。

2.根据权利要求1所述的真空电子器件用充压装置，其特征在于：所述头部装置(3)包括充压头(302)，所述充压头(302)下面安装有电控阀(303)，所述电控阀(303)下方设置有储气筒(301)，所述充压头(302)一侧设置有第一开关(304)，所述第一开关(304)形状为长方形，所述充压头(302)分别与所述电控阀(303)和所述储气筒(301)密封螺纹连接，所述第一开关(304)和所述电控阀(303)电连接。

3.根据权利要求1所述的真空电子器件用充压装置，其特征在于：所述头部装置(3)包括充压头(302)，所述充压头(302)下面安装有电控阀(303)，所述电控阀(303)下方设置有储气筒(301)，所述电控阀(303)上面设置有第二开关(305)，所述第二开关(305)形状为圆环形，所述第二开关(305)和所述充压头(302)滑动连接，所述充压头(302)分别与所述电控阀(303)和所述储气筒(301)密封螺纹连接，所述第二开关(305)和所述电控阀(303)电连接。

4.根据权利要求1所述的真空电子器件用充压装置，其特征在于：所述机箱装置(1)包括主机箱(101)，所述主机箱(101)前面安装有机箱门(103)，所述机箱门(103)前面安装有把手(104)，所述主机箱(101)一侧设置有散热窗(102)，所述机箱门(103)和所述主机箱(101)铰链连接，所述把手(104)和所述机箱门(103)焊接在一起，所述散热窗(102)和所述主机箱(101)铆接在一起。

5.根据权利要求1所述的真空电子器件用充压装置，其特征在于：所述动力装置(2)包括真空泵(201)，所述真空泵(201)一侧安装有过滤头(202)，所述真空泵(201)远离所述过滤头(202)一侧安装有总气管(203)，所述总气管(203)上面安装有五通阀(204)，所述五通阀(204)圆周安装有4个支气管(206)，所述支气管(206)上面安装有差压开关(205)，所述过滤头(202)和所述真空泵(201)插拔连接，所述总气管(203)和所述支气管(206)分别与所述五通阀(204)密封螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的真空电子器件用充压装置，其特征在于：所述动力装置(2)和所述头部装置(3)分别与所述机箱装置(1)螺栓连接。