[实用新型]一种利用数字微镜阵列的表面等离子体共振传感器

摘要

本实用新型涉及一种利用数字微镜阵列阵列的表面等离子体共振传感器，包括转台、第一反射棱镜、第二反射棱镜、金属片、聚焦透镜、光电转换器和数字微镜阵列。该实用新型利用双棱镜结构使得出射光线和入射光线始终平行，这样只需以成像面中心为轴转动棱镜即可改变入射光同金属片之间的角度，由于棱镜固定于转台上，转动可以通过步进电机一贯顺/逆时针运转实现，消除了步进电机往复运动回程差造成的角度漂移问题，另外，利用数字微镜阵列通过逐次记录子区块光强再组合成像的好处在于：记录光强的光电转换器的光敏区面积较大，其灵敏度高于CCD或CMOS上单像素的灵敏度，而实际在这一类传感器中人们真正希望的是逐点记录光强信息而非真正意义上的“成像”。