[实用新型]一种利用数字微镜阵列的表面等离子体共振传感器

权利要求书

1.一种利用数字微镜阵列的表面等离子体共振传感器，其特征在于，包括转台(1)、第一棱镜(2)、第二棱镜(3)、金属片(4)、聚焦透镜(5)、光电转换器(6)和数字微镜阵列(7)，所述的第一棱镜(2)、第二棱镜(3)和金属片(4)固定安装在所述的转台(1)上，且所述的金属片(4)附着在第一棱镜(2)的反射面上，金属片(4)所在的平面垂直转台(1)的转动平面，并且金属片(4)上传感面的中心和所述的转台(1)的转动中心重合并以此为圆心可随着转台(1)转动，所述的第二棱镜(3)以所述的转台(1)的转动中心为圆心设置在所述的转台(1)边缘，所述的数字微镜阵列(7)和光电转换器(6)相对设置在所述的转台(1)外围两侧，且所述的光电转换器(6)和转台(1)之间设置有聚焦透镜(5)，所述的数字微镜阵列(7)调制入射光并折射，使得光波依次经过所述的第一棱镜(2)、第二棱镜(3)、聚焦透镜(5)，最终进入光电转换器(6)使得光强信息转化为电信号并以数据呈现，且所述的数字微镜阵列(7)与所述的第一棱镜(2)之间形成的光路与所述的第二棱镜(3)与聚焦透镜(5)之间形成的光路始终保持平行。

2.根据权利要求1所述的一种利用数字微镜阵列的表面等离子体共振传感器，其特征在于，所述的第一棱镜(2)和第二棱镜(3)是三棱镜或者平凸柱面镜,在不妨碍光线路径的前提下两个棱镜之间紧密相连或者熔为一体成为一个棱镜。

3.根据权利要求2所述的一种利用数字微镜阵列的表面等离子体共振传感器，其特征在于，所述的金属片(4)和第一棱镜(2)之间设置有匹配油用以紧密接合金属片和棱镜表面。

4.根据权利要求3所述的一种利用数字微镜阵列的表面等离子体共振传感器，其特征在于，所述的金属片(4)由纳米级别厚度的金或者银制成，金属膜厚度为20～100纳米，金属表面具有刻蚀出来的结构。

5.根据权利要求4所述的一种利用数字微镜阵列的表面等离子体共振传感器，其特征在于，所述的转台(1)可顺时针或者逆时针转动15～30度。