[实用新型]多晶硅钝化接触太阳能电池氧化硅薄膜沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅钝化接触太阳能电池氧化硅薄膜沉积装置，包括：石墨舟组件；内部中空的沉积箱，所述沉积箱的前侧和/或后侧开设有通往沉积箱内部的石墨舟进出口；给排气组件，其包括分别从所述沉积箱的顶部与底部通往所述沉积箱内部的进气管与排气管；以及石墨舟传送组件，其设于所述沉积箱中，用于支持并传动所述石墨舟组件；其中，所述石墨舟组件在所述石墨舟传送组件的传动下经所述石墨舟进出口进出所述沉积箱的内部。根据本实用新型，其一方面降低了臭氧的消耗量，另一方面平衡了氧化腔中进气端与排气端的臭氧浓度，提高氧化均匀性。