[实用新型]多晶硅钝化接触太阳能电池氧化硅薄膜沉积装置

权利要求书

1.一种多晶硅钝化接触太阳能电池氧化硅薄膜沉积装置，其特征在于，包括：

石墨舟组件(1)；

内部中空的沉积箱(4)，所述沉积箱(4)的前侧和/或后侧开设有通往沉积箱(4)内部的石墨舟进出口(42)；

给排气组件(3)，其包括分别从所述沉积箱(4)的顶部与底部通往所述沉积箱(4)内部的进气管(31)与排气管(34)；以及

石墨舟传送组件(2)，其设于所述沉积箱(4)中，用于支持并传动所述石墨舟组件(1)；

其中，所述石墨舟组件(1)在所述石墨舟传送组件(2)的传动下经所述石墨舟进出口(42)进出所述沉积箱(4)的内部。

2.如权利要求1所述的多晶硅钝化接触太阳能电池氧化硅薄膜沉积装置，其特征在于，所述沉积箱(4)中设有隔断板(46)以使得所述沉积箱(4)的内部空间被分隔成从上至下依次设置的连接腔(47)与氧化腔(41)，其中，所述石墨舟进出口(42)通往所述氧化腔(41)的内部。

3.如权利要求2所述的多晶硅钝化接触太阳能电池氧化硅薄膜沉积装置，其特征在于，所述氧化腔(41)中设有位于所述隔断板(46)正下方的喷淋板(32)，其中，所述喷淋板(32)与所述隔断板(46)间隔设置以形成位于两者之间的缓存腔；所述进气管(31)穿过所述喷淋板(32)后通往所述缓存腔的顶部；所述喷淋板(32)上开设有若干个连通所述缓存腔与所述氧化腔(41)的喷淋孔。

4.如权利要求3所述的多晶硅钝化接触太阳能电池氧化硅薄膜沉积装置，其特征在于，所述喷淋板(32)的底面设有紫外线灯(33)。

5.如权利要求2～4任一项所述的多晶硅钝化接触太阳能电池氧化硅薄膜沉积装置，其特征在于，所述石墨舟传送组件(2)包括：

传送支撑架(23)；

至少三个非共线设置的支撑基座(25)，所述传送支撑架(23)通过支撑基座(25)固定安装至所述氧化腔(41)的底部；

传送驱动器(21)，其安装于所述传送支撑架(23)上；以及

传动件(22)，其设于所述传送支撑架(23)中并与所述传送驱动器(21)传动连接。

6.如权利要求5所述的多晶硅钝化接触太阳能电池氧化硅薄膜沉积装置，其特征在于，所述传送支撑架(23)的两端分别设有传送到位传感器(24)。

7.如权利要求5所述的多晶硅钝化接触太阳能电池氧化硅薄膜沉积装置，其特征在于，所述石墨舟组件(1)包括：

与所述传动件(22)传动连接的载具(14)；

设于所述载具(14)上的至少两个石墨舟限位配接块(13)；以及

通过所述石墨舟限位配接块(13)与所述载具(14)可拆卸式配接的石墨舟(11)；

其中，所述载具(14)的两端均设有石墨舟限位板(12)，所述载具(14)在所述传送驱动器(21)下沿所述传送支撑架(23)往复运动，从而通过所述石墨舟进出口(42)进出所述沉积箱(4)的内部。

8.如权利要求1所述的多晶硅钝化接触太阳能电池氧化硅薄膜沉积装置，其特征在于，所述沉积箱(4)的外侧壁上设有：

与所述沉积箱(4)滑动或转动连接的腔体封板(43)；以及

与所述腔体封板(43)传动连接的封板驱动器(45)；

其中，所述腔体封板(43)在所述驱动器(45)的驱动下往复运动以打开或关闭所述石墨舟进出口(42)。