[实用新型]一种MEMS恒温差热膜式风速计有效
| 申请号： | 202020219146.6 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN211348306U | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 祁安俊;刘钧;包坤;任海富 | 申请（专利权）人： | 华云升达（北京）气象科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01P5/12 | 分类号： | G01P5/12;G01K7/20 |
| 代理公司： | 北京崇智专利代理事务所(普通合伙) 11605 | 代理人： | 任小燕;何海英 |
| 地址： | 102299 北京市昌平区科技园振兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种MEMS恒温差热膜式风速计，包括：差分放大电路，具有加热电阻Rj，加热电阻Rj的阻值随温度变化而变化；恒温差控制电路，与差分放大电路相连接，恒温差控制电路具有两个测温电阻Rc1、Rc2，测温电阻Rc1和测温电阻Rc2对称设置在加热电阻Rj的两端；采集电路，与恒温差控制电路相连接，差分放大电路能够将风速信号转化为电压信号；电源电路，分别与差分放大电路、恒温差控制电路和采集电路相连接。在本实用新型的技术方案中，由于采用了MEMS工艺制造热膜及温度补偿部分，可以很好的保证了这三种电阻的温度敏感性一致，且其内部加入了一些绝缘薄膜，使得加热电阻上的热量流失较少，从而用较小的功率就能加热到指定温度点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 恒温 差热膜式 风速计 | ||
【主权项】：
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