[实用新型]一种高节能纳米真空蒸发源有效
| 申请号： | 202020211242.6 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN211947202U | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 王宁 | 申请（专利权）人： | 苏州泓沵达仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 许云峰 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种高节能纳米真空蒸发源，包括真空法兰，真空法兰上方通过支撑件固定有热屏蔽组件，热屏蔽组件内内置有加热组件，热屏蔽组件远离真空法兰一端设置有上端开口的圆柱形的放置腔，放置腔内可拆卸设置有一坩埚。坩埚包括自上而下依次连接的出气段和存储段，存储段为下端设置底壁的空腔圆柱体，出气段为空腔圆台体，出气段的下底面内径和存储段的内径相同，出气段的上端开口内径小于下底面内径，出气段的上端开口与放置腔的开口等高，出气段的外壁和放置腔的内壁之间可拆卸放置有高导热块，高导热块用于将热屏蔽组件的温度传导至出气段。缩小了蒸发时的散射面，能够提高源材料的有效利用率，减少了源材料的浪费，避免出口堵塞。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 节能 纳米 真空 蒸发 | ||
【主权项】：
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