[实用新型]一种高节能纳米真空蒸发源

权利要求书

1.一种高节能纳米真空蒸发源，包括真空法兰(1)，所述真空法兰(1)上方通过支撑件(2)固定有热屏蔽组件(3)，所述热屏蔽组件(3)内置有加热组件(4)，所述热屏蔽组件(3)远离真空法兰(1)一端设置有上端开口的圆柱形的放置腔(31)，所述放置腔(31)内可拆卸设置有一坩埚(5)，其特征在于：所述坩埚(5)包括自上而下依次连接的出气段(51)和存储段(52)，所述存储段(52)为下端设置底壁(53)的空腔圆柱体，所述出气段(51)为空腔圆台体，所述出气段(51)的下底面内径和存储段(52)的内径相同，所述出气段(51)的上端开口内径小于下底面内径，所述出气段(51)的上端开口与放置腔(31)的开口等高，所述出气段(51)的外壁和放置腔(31)的内壁之间可拆卸放置有高导热块(6)，所述高导热块(6)用于将热屏蔽组件(3)的温度传导至出气段(51)。

2.根据权利要求1所述的一种高节能纳米真空蒸发源，其特征在于：所述出气段(51)和存储段(52)为一体成型结构，所述出气段(51)和存储段(52)的连接处为弧形。

3.根据权利要求1所述的一种高节能纳米真空蒸发源，其特征在于：所述高导热块(6)为外径与放置腔(31)直径相同的空心圆柱体，所述高导热块(6)设置有与出气段(51)的外壁锥度匹配的套孔(61)，所述高导热块(6)套设在出气段(51)外。

4.根据权利要求1所述的一种高节能纳米真空蒸发源，其特征在于：所述高导热块(6)的材质为石墨。

5.根据权利要求1所述的一种高节能纳米真空蒸发源，其特征在于：所述坩埚(5)的材料为热解氮化硼。

6.根据权利要求1所述的一种高节能纳米真空蒸发源，其特征在于：所述加热组件(4)为内置在热屏蔽组件(3)的侧壁内的电热丝，所述电热丝通过电极连接件(7)与外部电极端口伸出的供电线连接；所述加热组件(4)包括上加热段(41)和下加热段(42)，所述上加热段(41)对应在出气段(51)外围，所述下加热段(42)对应于存储段(52)外围，所述下加热段(42)温度大于上加热段(41)温度。

7.根据权利要求6所述的一种高节能纳米真空蒸发源，其特征在于：所述底壁(53)中间位置向上端凹入，在所述底壁(53)外侧形成凹口(54)，所述凹口(54)的高度为存储段(52)高度的三分之一，所述放置腔(31)的底部设置有插入凹口(54)的中间加热棒(8)，所述中间加热棒(8)与下加热段(42)温度一致。

8.根据权利要求1所述的一种高节能纳米真空蒸发源，其特征在于：所述放置腔(31)的底部设置有用于测量坩埚(5)温度的温度测量组件，所述温度测量组件为热电偶、温敏元件或红外测温器。