[实用新型]一种分布式导流筒有效

专利信息
申请号: 202020128098.X 申请日: 2020-01-20
公开(公告)号: CN211497864U 公开(公告)日: 2020-09-15
发明(设计)人: 肖岛;祝广蕾;韩磊;白雪洁;于艳丽;王伟亮 申请(专利权)人: 山东北成环境工程有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B15/00;C30B13/00
代理公司: 青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104 代理人: 张清东
地址: 250000 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型提供一种分布式导流筒,包括压缩空气管,混合器,法兰盘,喷筒和惰性气体管,本实用新型混合器的设置,加快了混合气体的流速,提高了惰性气体对单晶硅的吹扫速度,提高单晶硅的生长速度;气体分流器的设置,气体分流器设置为空心式,且外表面开设有多个通风孔,气体分流器能够对混合气体进行分流,通过通风孔提高混合气体对单晶硅的吹扫均匀性,提高单晶硅的生长速度;混合器和喷筒的外部包裹有玻璃纤维丝,实现了导流筒的保温,使单晶硅上涨温度保持稳定,确保单晶硅棒的生产质量。
搜索关键词: 一种 分布式 导流
【主权项】:
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