[实用新型]一种分布式导流筒有效
| 申请号: | 202020128098.X | 申请日: | 2020-01-20 |
| 公开(公告)号: | CN211497864U | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
| 发明(设计)人: | 肖岛;祝广蕾;韩磊;白雪洁;于艳丽;王伟亮 | 申请(专利权)人: | 山东北成环境工程有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/00;C30B13/00 |
| 代理公司: | 青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104 | 代理人: | 张清东 |
| 地址: | 250000 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | 本实用新型提供一种分布式导流筒,包括压缩空气管,混合器,法兰盘,喷筒和惰性气体管,本实用新型混合器的设置,加快了混合气体的流速,提高了惰性气体对单晶硅的吹扫速度,提高单晶硅的生长速度;气体分流器的设置,气体分流器设置为空心式,且外表面开设有多个通风孔,气体分流器能够对混合气体进行分流,通过通风孔提高混合气体对单晶硅的吹扫均匀性,提高单晶硅的生长速度;混合器和喷筒的外部包裹有玻璃纤维丝,实现了导流筒的保温,使单晶硅上涨温度保持稳定,确保单晶硅棒的生产质量。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 分布式 导流 | ||
【主权项】:
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