[实用新型]真空吸附控制阀及真空吸附装置

摘要

本实用新型公开了一种真空吸附控制阀，包括阀体(1)，阀体上设置有用于分别与真空泵、吸盘连接的第一接口(2)、第二接口(3)，阀体中设置有控制第一接口、第二接口相连通或断开的阀芯(4)，阀体上设置有用于检测第二接口内部真空度的压力传感器(5)。本实用新型还公开了一种包括上述真空吸附控制阀的真空吸附装置。本实用新型通过压力传感器检测第二接口内部真空度，即检测了吸盘与被吸物体形成的密封空间内的真空度，通过真空度的大小来控制真空泵启停或吸附控制阀的动作，这样可使密封空间内的真空度处于合理范围，从而降低能耗，避免被吸物体因吸力过大而产生变形损伤。此外，压力传感器设置于控制阀上，集成度高，便于线路的连接。