[实用新型]真空吸附控制阀及真空吸附装置

权利要求书

1.一种真空吸附控制阀，包括阀体(1)，所述阀体(1)上设置有用于分别与真空泵、吸盘连接的第一接口(2)、第二接口(3)，所述阀体(1)中设置有控制第一接口(2)、第二接口(3)相连通或断开的阀芯(4)，其特征在于，所述阀体(1)上设置有用于检测第二接口(3)内部真空度的压力传感器(5)。

2.根据权利要求1所述的真空吸附控制阀，其特征在于：所述阀体(1)上设置有驱动阀芯(4)连通或断开第一接口(2)、第二接口(3)的阀芯驱动机构(6)。

3.根据权利要求2所述的真空吸附控制阀，其特征在于：还包括与阀芯驱动机构(6)连接以控制阀芯驱动机构(6)动作的控制器(7)，所述压力传感器(5)输出压力信号给所述控制器(7)，所述控制器(7)根据所述压力信号输出控制信号控制所述阀芯驱动机构(6)动作。

4.根据权利要求3所述的真空吸附控制阀，其特征在于：所述阀芯驱动机构(6)为气缸，所述气缸连接有控制其换向的电磁换向阀(8)，所述控制器(7)与电磁换向阀(8)连接。

5.根据权利要求4所述的真空吸附控制阀，其特征在于：所述阀芯(4)包括阀板(41)和阀杆(42)，所述阀体(1)中形成阀腔(11)，所述阀腔(11)设置有分别与第一接口(2)、第二接口(3)相连通的第一阀孔(12)，第二阀孔(13)，所述阀杆(42)设置在阀腔(11)中且一端与气缸的活塞杆连接，所述阀板(41)设置在阀杆(42)的另一端上，所述气缸的活塞杆驱动所述阀杆(42)在第一位置和第二位置之间切换，当阀杆(42)处于第一位置时，所述阀板(41)封堵第一阀孔(12)；当阀杆(42)处于第二位置时，所述阀板(41)打开第一阀孔(12)。

6.根据权利要求5所述的真空吸附控制阀，其特征在于：所述阀板(41)可滑动密封地套设在阀杆(42)上，所述阀板(41)与阀杆(42)之间设置有当阀杆(42)处于第一位置时可使阀板(41)弹性封堵第一阀孔(12)的弹性件(43)。

7.根据权利要求6所述的真空吸附控制阀，其特征在于：所述弹性件(43)为两端顶设在阀板、阀杆之间的弹簧。

8.根据权利要求5或6或7所述的真空吸附控制阀，其特征在于：所述阀板(41)与第一阀孔(12)之间的密封接合面上设置有密封圈(9)。

9.根据权利要求8所述的真空吸附控制阀，其特征在于：所述密封圈(9)设置在阀板(41)靠近第一阀孔(12)一侧的外缘上。

10.一种真空吸附装置，包括真空泵(10)、吸盘(20)，其特征在于，还包括如权利要求1至9中任一项所述的真空吸附控制阀(30)。