[实用新型]太阳能电池镀膜设备有效
| 申请号: | 202020088602.8 | 申请日: | 2020-01-14 |
| 公开(公告)号: | CN211921691U | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
| 发明(设计)人: | 焦哲 | 申请(专利权)人: | 合肥隆基乐叶光伏科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/50 | 分类号: | C23C16/50;C23C16/458;H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京工信联合知识产权代理有限公司 11266 | 代理人: | 白晓晰 |
| 地址: | 230088 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及一种太阳能电池镀膜设备,包括炉管、位于所述炉管内的石墨舟、以及桨体;所述石墨舟由多个石墨片电极组成,所述石墨片电极具有硅片放置区域;所述石墨舟还包括用于避免硅片从所述石墨片电极上的硅片放置区域脱出的辅助装置;所述桨体的一端与所述石墨舟可拆卸连接;所述桨体的另一端支承所述炉管的炉壁上,以使所述桨体相对所述炉管转动,带动所述石墨舟翻转;所述桨体具有对硅片的一面进行镀膜的第一镀膜位置、以及对硅片的另一面进行镀膜的第二镀膜位置;当所述桨体位于所述第一镀膜位置时,所述石墨舟正向放置;当所述桨体位于所述第二镀膜位置时,所述石墨舟位反向放置。本实用新型有利于提高单位设备的产出,节约成本。 | ||
| 搜索关键词: | 太阳能电池 镀膜 设备 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





