[实用新型]恒温装置以及MOCVD设备有效
| 申请号： | 202020018323.4 | 申请日： | 2020-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN211170886U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 杨彬斌;蔡武;黄小辉;陈向东;杨东;康建 | 申请（专利权）人： | 圆融光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/46 | 分类号： | C23C16/46;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 张子青;刘芳 |
| 地址： | 243000 安徽省马*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种恒温装置以及MOCVD设备，其中，一种恒温装置包括至少两个槽体，至少一个所述槽体内设置有恒温组件，所述恒温组件用于保持所述槽体内的液体的温度恒定，两个所述槽体之间连通有两个导流管，两个所述导流管分别与两个水泵连接，两个所述水泵用于驱动两个所述导流管内的液体向相反方向流动，以使得两个所述槽体内的液体循环流动。本实用新型提供一种恒温装置以及MOCVD设备，耗能低，有利于降低恒温装置的成本，提高生产利润。 | ||
| 搜索关键词： | 恒温 装置 以及 mocvd 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于圆融光电科技股份有限公司，未经圆融光电科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020018323.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种建筑管道固定装置
- 下一篇：一种便于拆卸的物联网太阳能路灯
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
