[发明专利]彩色滤光基板的形成方法和加热装置在审
| 申请号： | 202011639468.7 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114690472A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 李欣;张莉;陈建良;范刚洪;徐广军 | 申请（专利权）人： | 上海仪电显示材料有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335;G03F7/00;G03F7/38;G03F7/40;G03F7/20;G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣 |
| 地址： | 201108 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种彩色滤光基板的形成方法和一种加热装置，其中彩色滤光基板的形成方法包括：提供基板，所述基板包括相对的第一面和第二面；在所述第一面上形成初始光阻层；对所述初始光阻层进行曝光工艺；所述曝光工艺之后，对所述初始光阻层进行第一处理，且所述第一处理具有第一温度；所述第一处理之后，对所述初始光阻层进行显影，去除部分所述初始光阻层；所述显影工艺之后，对所述初始光层进行第二处理，使所述初始光阻层固化形成光阻层，所述第二处理具有第二温度，且所述第二温度大于所述第一温度。所述方法能够减少甚至避免由曝光时接触点引起的色不均问题。 | ||
| 搜索关键词： | 彩色 滤光 形成 方法 加热 装置 | ||
【主权项】：
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