[发明专利]彩色滤光基板的形成方法和加热装置

说明书

一种彩色滤光基板的形成方法和一种加热装置，其中彩色滤光基板的形成方法包括：提供基板，所述基板包括相对的第一面和第二面；在所述第一面上形成初始光阻层；对所述初始光阻层进行曝光工艺；所述曝光工艺之后，对所述初始光阻层进行第一处理，且所述第一处理具有第一温度；所述第一处理之后，对所述初始光阻层进行显影，去除部分所述初始光阻层；所述显影工艺之后，对所述初始光层进行第二处理，使所述初始光阻层固化形成光阻层，所述第二处理具有第二温度，且所述第二温度大于所述第一温度。所述方法能够减少甚至避免由曝光时接触点引起的色不均问题。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种彩色滤光基板的形成方法和一种加热装置。

背景技术

液晶显示基板以其高显示品质、价格低廉、携带方便等优点，是目前使用最广泛的一种平板显示器，其已经逐渐成为各种电子设备如移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕所广泛应用具有高分辨率彩色屏幕的显示器。

现有市场上的液晶显示面板大部分为背光型液晶显示面板，其包括液晶显示基板及背光模组(backlight module)。通常液晶显示基板由彩膜基板(Color Filter，CF)、薄膜晶体管彩色滤光基板(Thin Film Transistor Array Substrate，TFT Array Substrate)、以及配置于两基板间的液晶层(Liquid Crystal Layer)所构成。光刻技术广泛应用于显示面板行业中，随着科技发展，大尺寸玻璃基板对光刻机技术要求越来越高，关系到显示面板成品画质的优劣。

然而，现有曝光过程中由曝光时接触点容易引起色不均问题。

发明内容

本发明解决的技术问题是提供一种彩色滤光基板的形成方法和一种加热装置，以减少色不均。

为解决上述技术问题，本发明技术方案提供一种彩色滤光基板的形成方法，包括：提供基板，所述基板包括相对的第一面和第二面；在所述第一面上形成初始光阻层；对所述初始光阻层进行曝光工艺；所述曝光工艺之后，对所述初始光阻层进行第一处理，且所述第一处理具有第一温度；所述第一处理之后，对所述初始光阻层进行显影，去除部分所述初始光阻层；所述显影工艺之后，对所述初始光层进行第二处理，使所述初始光阻层固化形成光阻层，所述第二处理具有第二温度，且所述第二温度大于所述第一温度。

可选的，所述初始光阻层包括若干接触区和若干非接触区，所述接触区位于相邻非接触区之间；所述第一处理对所述接触区进行加热。

可选的，所述接触区的形状为正多边形。

可选的，所述正多边形为正八边形。

可选的，所述第一温度的范围为90摄氏度至110摄氏度。

可选的，所述第二温度的范围为220摄氏度至250摄氏度。

可选的，所述第一处理的处理时间范围为2秒至5秒。

可选的，对所述初始光阻层进行曝光的方法包括：提供曝光装置，所述曝光装置包括：曝光台和位于曝光台表面的若干相互分立的支撑柱，且各所述支撑柱的位置分别和接触区的位置对应；将所述第二面放置在所述支撑柱上；采用所述曝光装置对所述初始光阻层进行光照。

可选的，对所述初始光阻层进行第一处理的方法包括：提供加热装置，所述加热装置包括：加热盘和位于加热盘表面的若干相互分立的加热柱，且各所述加热柱的位置分别和接触区对应；将所述第二面放置在所述加热柱上；采用所述加热装置对所述第二面进行加热。

可选的，所述加热装置还包括：振动单元，用于使所述加热柱振动；对所述初始光阻层进行第一处理的方法还包括：通过振动所述加热柱，带动所述基板振动。

相应的，本发明技术方案还提供一种加热装置，包括：加热盘；位于所述加热盘表面的若干相互分立的加热柱，且所述加热柱的横截面形状为正多边形。