[发明专利]一种联动侦测晶圆盒传递机械夹持手臂有效
| 申请号： | 202011636191.2 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112757259B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 邓信甫;陈佳炜;徐铭;李志锋;刘大威 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/00 | 分类号： | B25J9/00;B25J15/00;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人： | 孙金金;周涛 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种联动侦测晶圆盒传递机械夹持手臂，其特征在于，包括第一夹持手、第二夹持手、第一夹持臂、第二夹持臂、安装底座、气缸安装座、驱动气缸、驱动机构，所述驱动机构安装于所述安装底座上，所述驱动气缸安装于气缸安装座上，所述第一夹持手安装于所述第一夹持臂的一端，所述第二夹持手安装于所述第二夹持臂的一端。本发明配备对称的U型夹持手，在驱动机构的驱动下做开合动作，进行晶圆盒的夹取动作，针对不同的晶圆盒的尺寸对应调整夹持手的开合间距，保证了夹持动作的完整性与稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 联动 侦测 晶圆盒 传递 机械 夹持 手臂 | ||
【主权项】：
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