[发明专利]水气腐蚀一体化系统在审
| 申请号： | 202011620385.3 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112798514A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 张凯红;赵宏生;王桃葳;李自强;刘小雪;高原;刘兵 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N17/00 | 分类号： | G01N17/00 |
| 代理公司： | 北京悦和知识产权代理有限公司 11714 | 代理人： | 司丽春 |
| 地址： | 100084 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供水气腐蚀一体化系统包括控制系统、气路系统、称量系统、恒流系统、汽化系统、水蒸气含量监测系统、热扩散炉；气路系统与控制系统、汽化系统、热扩散炉相连，用于向热扩散炉通入一定流量的保护气体和工作气体；气路系统的工作气体依次经过汽化系统和水蒸气含量监测系统后，载带一定百分比的水蒸气进入热扩散炉；称量系统与控制系统、恒流系统相连，用于向恒流系统提供水源；恒流系统用于从称量系统中持续抽取一定量的液体。本发明实现了自动一体化，能够精确控制气体流量、炉温、水蒸气含量等工艺参数，并能监测各组件运行状态。 | ||
| 搜索关键词： | 水气 腐蚀 一体化 系统 | ||
【主权项】：
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