[发明专利]水气腐蚀一体化系统在审

专利信息
申请号: 202011620385.3 申请日: 2020-12-30
公开(公告)号: CN112798514A 公开(公告)日: 2021-05-14
发明(设计)人: 张凯红;赵宏生;王桃葳;李自强;刘小雪;高原;刘兵 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: G01N17/00 分类号: G01N17/00
代理公司: 北京悦和知识产权代理有限公司 11714 代理人: 司丽春
地址: 100084 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 水气 腐蚀 一体化 系统
【权利要求书】:

1.一种水气腐蚀一体化系统,其特征在于,所述水气腐蚀一体化系统包括控制系统、气路系统、称量系统、恒流系统、汽化系统、水蒸气含量监测系统、热扩散炉;

所述控制系统包括多个触摸屏,每个所述触摸屏能独立控制每套管路,并能实时显示所述热扩散炉温度、气体流量、水失重量、出水流速、所述汽化系统的温度、水蒸气含量、水蒸气气路温度,以及设备状态异常报警;

所述气路系统与所述控制系统、所述汽化系统、所述热扩散炉相连,用于向所述热扩散炉通入一定流量的保护气体和工作气体;所述气路系统中的工作气体依次经过所述汽化系统和水蒸气含量监测系统后,载带一定百分含量的水蒸气进入所述热扩散炉;所述气路系统还配备气路保温装置,所述气路保温装置包括温控器和加热带,保证气路温度恒定且可调,水蒸气在管路中不冷凝;

所述称量系统与所述控制系统、所述恒流系统相连,用于向恒流系统提供水源;所述称量系统包括液体容器和精密天平,在所述触摸屏上在线显示水的失重量,所述液体容器与所述恒流系统的管路相连,并实时监测走水量;所述称量系统的液体容器为密闭设计,上方由出液管连接到所述恒流系统;

所述恒流系统用于从所述称量系统中持续抽取一定量的液体,并控制水的流速,使水以恒定的流速输送到所述汽化系统,在所述恒流系统的末端设有出液管,与所述汽化系统连接;

所述汽化系统与所述气路系统和所述恒流系统相连,包括汽化腔和加热装置,在所述汽化腔内工作气体与水蒸气充分混合后,向所述热扩散炉中通入定量的低浓度的水/气混合气;所述汽化腔为金属密闭腔体,包括进气口和进液口,以及混合气出口;所述汽化系统的加热装置可以是缠绕在汽化腔的发热带、发热体或发热丝,通过控温器控制加热温度;

所述水蒸气含量监测系统连接在所述汽化腔后面,用于检测工作气体中水蒸气的含量;所述水蒸气含量监测系统为能精确测量混合气中水蒸气含量的精密露点仪、温湿度传感器或在线质谱仪;

所述热扩散炉能够自动控制温升曲线,用于把样品加热到设定温度并保温一定的时间;所述热扩散炉的恒温区≥40cm,内径≥80cm,可以同时放置1-5个样品。

2.如权利要求1所述的水气腐蚀一体化系统,其特征在于,所述气路系统包括气源、减压阀、气压报警传感器、气体质量流量计、电磁阀、单向阀、加热带、温控器。

3.如权利要求1所述的水气腐蚀一体化系统,其特征在于,所述称量系统的精密天平量程≥100g,精度优于1mg;所述称量系统的容器容量≥5ml。

4.如权利要求1所述的水气腐蚀一体化系统,其特征在于,所述恒流系统是计量泵、注射泵或恒流泵。

5.如权利要求1所述的水气腐蚀一体化系统,其特征在于,所述汽化腔的材质由0Cr18Ni9Ti、0Cr17Ni12Mo2、0Cr18Ni9或铝合金加工而成,形状为管状或腔体结构。

6.如权利要求1所述的水气腐蚀一体化系统,其特征在于,所述水气腐蚀一体化系统还包括冷却系统和排风系统;所述冷却系统与所述热扩散炉相连,用于冷却炉头法兰及炉体;所述排风系统位于气路系统尾部,用于尾气的收集和排出。

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