[发明专利]具有粒子消除功能的ICP-MS在审
| 申请号： | 202011614128.9 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112863997A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 陈悠;俞晓峰;李明;尹伊君;徐岳;金振弘;韩双来 | 申请（专利权）人： | 杭州谱育科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/24 | 分类号： | H01J49/24;H01J49/00;H01J49/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 311305 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了具有粒子消除功能的ICP‑MS，包括炬管、采样锥和真空腔；离子偏转透镜组设置在所述真空腔的第一室内，所述真空腔的第二室内设置离子传输透镜和质量分析器；腔室设置在所述第一室的下侧，所述炬管竖直地设置在所述腔室内，所述采样锥设置在所述腔室内；所述炬管出射的离子穿过采样锥进入所述第一室内，经所述离子偏转透镜组偏转后进入第二室内，依次穿过所述第一通孔、传输透镜、质量分析器和第二通孔；泵连通所述第一室的气体出口，所述气体出口偏离所述采样锥的中心轴线。本发明具有工作性能好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 粒子 消除 功能 icp ms | ||
【主权项】：
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