[发明专利]具有粒子消除功能的ICP-MS

说明书

本发明提供了具有粒子消除功能的ICP‑MS，包括炬管、采样锥和真空腔；离子偏转透镜组设置在所述真空腔的第一室内，所述真空腔的第二室内设置离子传输透镜和质量分析器；腔室设置在所述第一室的下侧，所述炬管竖直地设置在所述腔室内，所述采样锥设置在所述腔室内；所述炬管出射的离子穿过采样锥进入所述第一室内，经所述离子偏转透镜组偏转后进入第二室内，依次穿过所述第一通孔、传输透镜、质量分析器和第二通孔；泵连通所述第一室的气体出口，所述气体出口偏离所述采样锥的中心轴线。本发明具有工作性能好等优点。

技术领域

本发明涉及质谱仪，特别涉及具有粒子消除功能的ICP-MS及其工作方法。

背景技术

四极杆质谱仪是一种常用的高端精密分析仪器。在质谱中，常见的是通过电场(电位)来调节离子束偏转和聚焦来实现不同入射能量的离子束以合理的偏转角度飞行。而传统的离子光学系统设计只注重将发散的离子束进行引导、聚焦引入质谱，而很少有人关注过光子、中性离子对四极杆传输效率的影响。

当前市面上的四极杆质谱系统，都会引入离轴偏转透镜，来消除光子、中性粒子的干扰，对于中性粒子的排除也没有特别采取手段来解决，只是通过足够抽速的分子泵来保证器件该有的真空度。目前未有人考虑过中性粒子的弥散对四极杆质谱系统造成传输效率差、真空腔器件容易污染的影响。

发明内容

为解决上述现有技术方案中的不足，本发明提供了一种具有粒子消除功能的ICP-MS。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

具有粒子消除功能的ICP-MS，所述具有粒子消除功能的ICP-MS包括炬管、采样锥和真空腔；所述具有粒子消除功能的ICP-MS还包括：

离子偏转透镜组，所述离子偏转透镜组设置在所述真空腔的第一室内，所述真空腔的第二室内设置离子传输透镜和质量分析器；

腔室，所述腔室设置在所述第一室的下侧，所述炬管竖直地设置在所述腔室内，所述采样锥设置在所述腔室内；所述炬管出射的离子穿过采样锥进入所述第一室内，经所述离子偏转透镜组偏转后进入第二室内，依次穿过所述第一通孔、传输透镜、质量分析器和第二通孔；

泵连通所述第一室的气体出口，所述气体出口偏离所述采样锥的中心轴线。

与现有技术相比，本发明具有的有益效果为：

在泵的作用下，中性粒子可快速导出第一室，有效减少了从离子偏转透镜组输出的中性粒子以及带入的样品背景气体附着在真空腔盖板与光学器件上，大大减少维护频率，保护光学器件同时降低背景噪声。

附图说明

参照附图，本发明的公开内容将变得更易理解。本领域技术人员容易理解的是：这些附图仅仅用于举例说明本发明的技术方案，而并非意在对本发明的保护范围构成限制。图中：

图1是根据本发明实施例的具有粒子消除功能的ICP-MS的结构示意图；

图2是根据本发明实施例的具有粒子消除功能的ICP-MS的另一结构示意图。

具体实施方式

图1-2和以下说明描述了本发明的可选实施方式以教导本领域技术人员如何实施和再现本发明。为了教导本发明技术方案，已简化或省略了一些常规方面。本领域技术人员应该理解源自这些实施方式的变型或替换将在本发明的范围内。本领域技术人员应该理解下述特征能够以各种方式组合以形成本发明的多个变型。由此，本发明并不局限于下述可选实施方式，而仅由权利要求和它们的等同物限定。

实施例1：

图1给出了本发明实施例的具有粒子消除功能的ICP-MS的结构示意图，如图1所示，所述具有粒子消除功能的ICP-MS包括：