[发明专利]套合精度的测量方法及测量装置有效
| 申请号： | 202011563026.9 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112729113B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 屠礼明 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种套合精度的测量方法及测量装置。所述套合精度的测量方法包括如下步骤：提供一衬底，所述衬底上具有第一堆叠结构、以及叠置于所述第一堆叠结构表面的第二堆叠结构，所述第一堆叠结构中具有沿垂直于所述衬底的方向贯穿所述第一堆叠结构的第一沟道孔，所述第二堆叠结构中具有沿垂直于所述衬底的方向贯穿所述第二堆叠结构的第二沟道孔；采用检测光照射所述衬底；获取经所述第一沟道孔反射的光和所述第二沟道孔反射的光形成的干涉三阶信号；根据获取的所述干涉三阶信号表征所述第一沟道孔与所述第二沟道孔的套合精度。本发明缩短了套合精度的测量时间，提高了所述第一沟道孔和所述第二沟道孔套合精度的测量效率。 | ||
| 搜索关键词： | 精度 测量方法 测量 装置 | ||
【主权项】：
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