[发明专利]差分式MEMS气体传感器有效
| 申请号： | 202011556399.3 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN112730264B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 高建民;李东光;张雪岭;俞晓涛;卢美娟;胥海艳;樊海春;张涛 | 申请（专利权）人： | 天津同阳科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G01N21/31 |
| 代理公司： | 天津合正知识产权代理有限公司 12229 | 代理人： | 李震勇 |
| 地址： | 300000 天津市滨海新*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种差分式MEMS气体传感器，其内部设有腔空间镜像对称且设于同一层的两组腔室组，每组腔室组各包括相交连通的气室腔和声室腔；每个声室腔内各设有一用来检测声音信号的微音器；每组腔室组仅通过其气室腔的顶部腔壁设有的多个透气孔与差分式MEMS气体传感器外的大气相连通；其中一组腔室组的气室腔还配备有激光组件，所述激光组件产生的激光能射入至该气室腔内。本发明采用双气室差分设计，极大降低环境噪声对测量的影响，精度高，体积小。 | ||
| 搜索关键词： | 分式 mems 气体 传感器 | ||
【主权项】：
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