[发明专利]一种IV-VI族半导体薄膜及其制备方法有效
| 申请号: | 202011554008.4 | 申请日: | 2020-12-24 |
| 公开(公告)号: | CN112687801B | 公开(公告)日: | 2022-10-28 |
| 发明(设计)人: | 曾祥斌;肖永红;胡一说;陆晶晶;王文照;王士博;周宇飞;王君豪;王曦雅;张茂发;陈铎 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
| 主分类号: | H01L51/42 | 分类号: | H01L51/42;H01L51/00;H01L51/48 |
| 代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 李智 |
| 地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种IV‑VI族半导体薄膜及其制备方法,属于半导体薄膜制备领域,所述方法包括:将A和B混合后加入C溶液得到前驱体溶液,A为醋酸铅或者氯化铅,B为硫脲或者硒脲,C为二甲基甲酰胺;将所述前驱体溶液旋涂在衬底上,烘干得到前驱体溶质;用红外激光器照射所述前驱体溶质,所述红外激光器输出功率为15W~18W、扫描速度为5~20mm/s、线间距为0.01~0.1mm,照射在真空环境或者惰性气氛下进行,得到IV‑VI族半导体薄膜。本发明采用的激光合成制备IV‑VI族半导体薄膜,其工艺流程简单、所得薄膜形状可控,能在柔性衬底上直接成膜,可以在短时间内获得高质量的IV‑VI族半导体薄膜,适合于大批量生产。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 iv vi 半导体 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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