[发明专利]一种IV-VI族半导体薄膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202011554008.4 申请日: 2020-12-24
公开(公告)号: CN112687801B 公开(公告)日: 2022-10-28
发明(设计)人: 曾祥斌;肖永红;胡一说;陆晶晶;王文照;王士博;周宇飞;王君豪;王曦雅;张茂发;陈铎 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: H01L51/42 分类号: H01L51/42;H01L51/00;H01L51/48
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 李智
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种IV‑VI族半导体薄膜及其制备方法,属于半导体薄膜制备领域,所述方法包括:将A和B混合后加入C溶液得到前驱体溶液,A为醋酸铅或者氯化铅,B为硫脲或者硒脲,C为二甲基甲酰胺;将所述前驱体溶液旋涂在衬底上,烘干得到前驱体溶质;用红外激光器照射所述前驱体溶质,所述红外激光器输出功率为15W~18W、扫描速度为5~20mm/s、线间距为0.01~0.1mm,照射在真空环境或者惰性气氛下进行,得到IV‑VI族半导体薄膜。本发明采用的激光合成制备IV‑VI族半导体薄膜,其工艺流程简单、所得薄膜形状可控,能在柔性衬底上直接成膜,可以在短时间内获得高质量的IV‑VI族半导体薄膜,适合于大批量生产。
搜索关键词: 一种 iv vi 半导体 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
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