[发明专利]一种用于处理半导体TiN工艺废气的方法有效
| 申请号： | 202011540719.6 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112797424B | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 杨春水 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | F23G7/06 | 分类号： | F23G7/06;F23K5/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张建利 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于处理半导体TiN工艺废气的方法，涉及半导体加工及废气处理领域，方法包括以下步骤：根据废气管路出口的气体温度值调节管路加热带的温度和热氮气的温度；根据四氯化钛控制阀的开闭情况对喷水系统的电磁阀进行控制；控制氨气阀打开，以使氨气进入燃烧腔室中进行燃烧处理。通过对废气管路出口的气体温度值进行检测，并根据气体温度值对管路加热带的温度和热氮气的温度进行调节，使废气管路出口的气体温度值处于预定温度范围内；通过用水对废气管路出口进行冲刷，可将反应生成物直接冲刷到废气处理设备底部的水箱中，防止反应生成物将废气管路出口堵塞，延长设备的维护周期，提高生产线的运行效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 处理 半导体 tin 工艺 废气 方法 | ||
【主权项】：
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