[发明专利]一种影像传感器芯片生产用清洁设备及其使用方法有效
| 申请号： | 202011539555.5 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN113182265B | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 李厚平 | 申请（专利权）人： | 芯峰光电技术（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 合肥利交桥专利代理有限公司 34259 | 代理人： | 黄珍丽 |
| 地址： | 518063 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及芯片生产技术领域，尤其涉及一种影像传感器芯片生产用清洁设备及使用方法。本发明要解决的技术问题是芯片的固定麻烦、清洗时对芯片的保护和高温烘干损坏芯片。为了解决上述技术问题，本发明提供了一种影像传感器芯片生产用清洁设备及调节方法，本发明由工作桌、挂钩机构，固定机构和烘干机构组成，设置挂钩机构方便芯片的固定，提升固定速率，增加产量，设置有固定机构，使得在清洗过程中芯片之间不会因为接触碰撞导致损坏芯片，设置烘干机构，能对影像传感器芯片进行烘干，同时红外传感器会监测内部温度，通过滑动变阻开关调节控制温度，避免烘干时温度过高对影像传感器芯片造成损伤，烘干能避免清洁液残留而影响芯片品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 影像 传感器 芯片 生产 清洁 设备 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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