[发明专利]一种影像传感器芯片生产用清洁设备及其使用方法

说明书

本发明涉及芯片生产技术领域，尤其涉及一种影像传感器芯片生产用清洁设备及使用方法。本发明要解决的技术问题是芯片的固定麻烦、清洗时对芯片的保护和高温烘干损坏芯片。为了解决上述技术问题，本发明提供了一种影像传感器芯片生产用清洁设备及调节方法，本发明由工作桌、挂钩机构，固定机构和烘干机构组成，设置挂钩机构方便芯片的固定，提升固定速率，增加产量，设置有固定机构，使得在清洗过程中芯片之间不会因为接触碰撞导致损坏芯片，设置烘干机构，能对影像传感器芯片进行烘干，同时红外传感器会监测内部温度，通过滑动变阻开关调节控制温度，避免烘干时温度过高对影像传感器芯片造成损伤，烘干能避免清洁液残留而影响芯片品质。

技术领域

本发明涉及其一种影像传感器芯片生产用清洁设备，具体是一种影像传感器芯片生产用清洁设备及其使用方法，属于芯片生产技术领域。

背景技术

使用单晶硅晶圆用作基层，然后使用光刻、掺杂、CMP等技术制成MOSFET或BJT等组件，再利用薄膜和CMP技术制成导线，如此便完成芯片制作，因产品性能需求及成本考量，导线可分为铝工艺(以溅镀为主)和铜工艺(以电镀为主参见Damascene)，主要的工艺技术可以分为以下几大类：黄光微影、刻蚀、扩散、薄膜、平坦化制成、金属化制成，在生产中芯片需要清洁后在存储，避免附着的污渍导致芯片质量下降；

现有专利(公告号：CN209565273U)公开了一种智能卡芯片模块清洁装置，涉及智能卡生产设备技术领域。包括机架、卡片支撑机构和卡片输送导轨，所述机架上设置有清洁机构和清洁剂涂布机构，所述机架底部固定有与卡片输送导轨相配合的清洁槽，所述清洁槽底部与卡片输送导轨固定连接，所述卡片支撑机构设置在卡片输送导轨正下方。发明人在实现该方案的过程中发现现有技术中存在如下问题没有得到良好的解决：1、该装置采用清洁布带队芯片表面擦拭，完成对芯片清洁处理，其安装较为麻烦，操作复杂，清洁效果一般，稍不注意还会损坏芯片表面；2、该装置清洁速度慢，遇到芯片量产时，费时费力，生产时遇到难以擦掉的污渍很难清理干净；3、该装置在擦拭时清洁布带沾有清洗液，没有及时烘干的情况下如此很容易在芯片表面留下污痕，影响芯片的质量。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种影像传感器芯片生产用清洁设备及其使用方法。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的，一种影像传感器芯片生产用清洁设备，包括工作桌、挂钩机构，固定机构和烘干机构。

所述工作桌的顶面固定安装有挂钩机构，所述工作桌上内嵌安装清洗箱和烘干箱，所述清洗箱的顶部放置有固定机构，所述烘干箱的内部安装有烘干机构，所述清洗箱的底板顶面固定安装有多个超声波发生器。

所述挂钩机构包括转动轴、U形柱、连接柱和转动柱，所述转动轴固定连接在工作桌的顶面，所述转动轴的内圈固定套接有转动柱，所述转动柱的一侧表面顶部位置水平固定连接有连接柱，所述连接柱远离转动柱的一端固定连接有U形柱。

所述固定机构包括清洗板、芯片夹固定块、连接绳、芯片夹连接柱和芯片弹簧夹，所述清洗板的顶面中心位置固定安装有把手，所述清洗板的底面安装有多个芯片夹固定块，所述芯片夹固定块的底部固定连接有连接绳，所述连接绳的底端固定连接芯片夹连接柱的顶端表面，所述芯片夹连接柱的底端固定连接有芯片弹簧夹。

所述烘干机构包括烘干箱、透气板、发热丝、排风扇和控制箱，所述工作桌顶面安装有控制箱，所述控制箱的内部安装有PLC，所述控制箱的一侧壁内嵌安装有温度显示器和滑动变阻开关，所述烘干箱一侧内壁表面固定安装有红外传感器，所述烘干箱的内壁自下而上依次水平安装有排风扇、发热丝和透气板，所述清洗板底面的多个芯片夹固定块呈矩阵等距分布，所述芯片弹簧夹底端夹头的内部表面安装有软垫。

优选的，所述透气板上贯穿开设有多个圆形透气孔，多个所述圆形透气孔成矩阵等距分布。

优选的，所述发热丝的两端均安装有发热丝连接柱且通过发热丝连接柱固定在烘干箱的内壁表面。