[发明专利]一种新型离子源中和器在审
| 申请号： | 202011536374.7 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112635286A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 李伟 | 申请（专利权）人： | 长沙元戎科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 石家庄领皓专利代理有限公司 13130 | 代理人： | 张杏珍 |
| 地址： | 410300 湖南省长沙市浏阳市经济技术*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空镀膜设备技术领域，提出了一种新型离子源中和器，包括具有空腔的导磁钢外壳、在导磁钢外壳内由下至上依次设置有永磁铁、阳极，导磁钢外壳上设置有离子出射孔，永磁铁的一端与导磁钢外壳的底部连接，另外一端位于阳极下方，还包括直流电源，直流电源与阳极连接，导磁钢接地，增设了设置在离子出射孔旁的电子发生装置，电子发生装置包括不锈钢外壳及设置在不锈钢外壳内的钨丝，不锈钢外壳接负电，不锈钢外壳上设置有朝向离子出射孔的电子出射孔。通过上述技术方案，解决了现有技术中离子源中和器灯丝挥发污染基片、寿命短的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 离子源 中和 | ||
【主权项】：
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