[发明专利]一种新型离子源中和器在审
| 申请号： | 202011536374.7 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112635286A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 李伟 | 申请（专利权）人： | 长沙元戎科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 石家庄领皓专利代理有限公司 13130 | 代理人： | 张杏珍 |
| 地址： | 410300 湖南省长沙市浏阳市经济技术*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 离子源 中和 | ||
1.一种新型离子源中和器，包括具有空腔的导磁钢外壳(1)、在所述导磁钢外壳(1)内由下至上依次设置有永磁铁(2)、阳极(3)，所述导磁钢外壳(1)上设置有离子出射孔(12)，所述永磁铁(2)的一端与所述导磁钢外壳(1)的底部连接，另外一端位于所述阳极(3)下方，还包括直流电源(5)，所述直流电源(5)输出到所述阳极(3)，所述导磁钢(1)接地，其特征在于，增设了设置在所述离子出射孔(12)旁的电子发生装置，所述电子发生装置包括不锈钢外壳(6)及设置在所述不锈钢外壳(6)内的钨丝(7)，所述不锈钢外壳(6)接负电，所述不锈钢外壳(6)上设置有朝向所述离子出射孔(12)的电子出射孔(8)。
2.根据权利要求1所述的新型离子源中和器，其特征在于，所述导磁钢外壳(1)包括依次互相连接的底板(9)、侧板(10)及顶板(11)，所述底板(9)与所述永磁铁(2)一端连接，所述顶板(11)上设置有离子出射孔(12)。
3.根据权利要求2所述的新型离子源中和器，其特征在于，所述电子发生装置为对称设置在所述离子出射孔(12)旁的一组。
4.根据权利要求3所述的新型离子源中和器，其特征在于，还包括气体通道(13)和衬垫(14)，所述气体通道(13)穿过所述侧板(10)，所述气体通道(13)的出气端位于所述衬垫(14)的下方，所述永磁铁(2)与所述阳极(3)之间设置有衬垫(14)。
5.根据权利要求1所述的新型离子源中和器，其特征在于，所述钨丝(7)通电流为20～50A。
6.根据权利要求1所述的新型离子源中和器，其特征在于，所述钨丝(7)为螺旋状。
7.根据权利要求1所述的新型离子源中和器，其特征在于，所述钨丝(7)的直径为0.8～1mm。
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