[发明专利]用于红外光电的铅盐薄膜结构及其制备方法

摘要

本发明属于光电子器件领域，具体涉及一种用于红外光电的复合结构铅盐薄膜及其制备方法。基底、物理气相沉积法制备的铅盐晶粒层、化学法制备的小晶粒铅盐；所述铅盐晶粒层覆在所述基底上，铅盐晶粒之间存在缝隙；所述小晶粒铅盐嵌入所述缝隙之中；所述铅盐薄膜为硫化铅或硒化铅；所述基底为石英衬底或蓝宝石衬底或含氧化层硅片；所述制备方法是通过物理气相沉积法及化学法相结合而制成。本发明提供的复合结构铅盐薄膜结构更加致密，均匀性高；退火处理后的复合结构铅盐薄膜作为光电探测器噪声小，比探测率高，制备方法耗时短，工艺简单。