[发明专利]用于红外光电的铅盐薄膜结构及其制备方法

权利要求书

1.一种复合结构铅盐薄膜的制备方法，其特征在于，

所述复合结构铅盐薄膜包括：基底、物理气相沉积法制备的铅盐晶粒层、化学水浴法制备的小晶粒铅盐；

所述铅盐晶粒层覆在所述基底上，铅盐晶粒之间存在缝隙；

所述小晶粒铅盐嵌入所述缝隙之中；

所述铅盐为硫化铅或硒化铅；

所述基底为石英衬底或蓝宝石衬底或含氧化层硅片；

所述制备方法包括以下步骤：（1）物理气相沉积法在所述基底上以多晶硫化铅或硒化铅为原材料沉积铅盐晶粒层得部件a；（2）将部件a浸入含铅盐反应溶液中，得到复合结构铅盐薄膜；

所述含铅盐反应溶液为混合溶液内发生反应能生成所述铅盐的溶液。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述铅盐为硫化铅时，步骤(2)中所述的含铅盐反应溶液由醋酸铅、硫脲和氢氧化钾水溶液组成；或所述铅盐为硒化铅时，步骤（2）中所述的含铅盐反应溶液由硒代硫酸钠溶液、醋酸铅溶液、氢氧化钾水溶液和水溶性淀粉溶液组成。

3.根据权利要求2所述制备方法，其特征在于，对含铅盐反应溶液加热，加热温度为60-80℃。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，加热1-3小时。

5.根据权利要求2-4任一所述的制备方法，其特征在于，对步骤（2）中得到的复合结构铅盐薄膜进行退火处理；所述退火处理温度为100-250℃，退火处理时间为1-3小时。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，对退火处理后的复合结构铅盐薄膜进行钝化；所述钝化具体为：将退火处理后的复合结构铅盐薄膜晶粒层一面镀上硫化锌或二氧化硅或氟化硅。

7.权利要求5或6所述的制备方法制备的复合结构铅盐薄膜，其特征在于，由复合结构硫化铅薄膜制备成的探测器响应波段在1-4.5um；或由复合结构硒化铅薄膜制备成的探测器响应波段在1.5-5um。

8.权利要求7所述的复合结构铅盐薄膜在红外光电探测器或红外相机中的应用。