[发明专利]金刚石薄膜试样及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202011527201.9 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112730484A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 张玉桧;陈焕涛;叶云;张吉阜;张忠诚 | 申请（专利权）人： | 广东省科学院新材料研究所 |
| 主分类号： | G01N23/2005 | 分类号： | G01N23/2005;G01N23/203;G01N1/28;G01N1/32 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 覃蛟 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金刚石薄膜试样及其制备方法和应用，该制备方法包括：对镶嵌包埋的金刚石膜上裸露出的待检测截面依次进行机械研磨、手动抛光和离子抛光。该制备方法针对金刚石薄膜的材质特性，通过镶嵌包覆试样，再通过特定的机械研磨、手动抛光以及离子抛光的组合工艺逐步减小试样表面残余应力层而不容易破坏金刚石膜本身，确保了金刚石膜试样待检测截面的残余应力层厚度达到最小，使得其适合于作为电子背散射衍射技术和纳米压痕技术的表征试样。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 薄膜 试样 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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