[发明专利]一种具有主动光学防抖功能的面阵扫频测距/厚的装置和方法有效
| 申请号： | 202011517746.1 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN112729135B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 夏珉;谢谊;鄢淦威;杨克成;郭文平;李微 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 武汉华之喻知识产权代理有限公司 42267 | 代理人： | 王世芳;曹葆青 |
| 地址： | 430074 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具有主动光学防抖功能的面阵扫频测距/厚的装置，属于测距/厚领域，包括第一、二二向色镜、分束器、远心镜头、相机、光谱仪、采集控制单元和可运动反射器件，第一二向色镜的透射光方向上设置分束器，分束器反射光方向上设置有载物台，分束器透射光方向上设置可运动反射器件，分束器具有四个端口，第一端口和第三端口位于相对的两个边上，第一端口正对第一二向色镜，第二端口正对载物台，第三端口正对可运动反射器件，第四端口的方向上设置有第二二向色镜，第二二向色镜透射光方向上设置远心镜头，远心镜头连接有相机，第二二向色镜反射光方向上设置光谱仪，光谱仪连通采集控制单元。本发明装置结构简单、测量快速、测量精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 主动 光学 功能 面阵扫频 测距 装置 方法 | ||
【主权项】：
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