[发明专利]一种基于真空溅射腔室的贵金属回收工艺有效
| 申请号： | 202011514847.3 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN112680749B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 陈敏;周鑫;郭丽萍 | 申请（专利权）人： | 江苏时代华宜电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C25C1/20 | 分类号： | C25C1/20;C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 朱晓林 |
| 地址： | 214000*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于钼片技术领域，具体涉及一种基于真空溅射腔室的贵金属回收工艺，包括步骤1，将防着板全部浸入硝酸溶液中；步骤2，将防着板浸入电解溶液中；步骤3，将防着板浸入氢氟酸溶液中；步骤4，将防着板放入喷砂机中喷砂处理,完成防着板处理；步骤5，将步骤1和2中的溶液用过滤纱布过滤出沉淀或固体状钌；步骤6，将滤出的沉淀或固体钌再次浸入硝酸溶液中；步骤7，将步骤6中的溶液再次使用过滤纱布过滤,然后烘干即可得到金属钌。本发明不仅使得镀膜腔室处于干净清洁的状态,杜绝腔室被污染镀层被污染的可能性,同时可回收贵金属钌,提高效益减少浪费,减少对环境的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 真空 溅射 贵金属 回收 工艺 | ||
【主权项】：
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