[发明专利]一种基于真空溅射腔室的贵金属回收工艺

权利要求书

1.一种基于真空溅射腔室的贵金属回收工艺，其特征在于：包括如下步骤：

步骤1，将防着板全部浸入硝酸溶液中；

步骤2，将防着板浸入电解溶液中；电解池内的电解液采用混合碱液，所述混合碱液由氢氧化钠溶液,碳酸氢钠和碳酸钠溶液混合而成，所述混合碱液中的氢氧化钠浓度为10-20g/L，碳酸氢钠浓度为10-20g/L，碳酸钠浓度为10-20g/L，电解电压60伏特，电流6安培；

步骤3，将防着板浸入氢氟酸溶液中；

步骤4，将防着板放入喷砂机中喷砂处理,完成防着板处理；

步骤5，将步骤1和2中的溶液用过滤纱布过滤出沉淀或固体状钌；

步骤6，将滤出的沉淀或固体钌再次浸入硝酸溶液中；

步骤7，将步骤6中的溶液再次使用过滤纱布过滤,然后烘干即可得到金属钌；

其中，防着板上的镀层是以一层钌一层银一层钌一层银如此的方式堆叠而成。

2.根据权利要求1所述的所述基于真空溅射腔室的贵金属回收工艺，其特征在于：步骤1中硝酸溶液的浓度配比为:68%硝酸和纯水1:1混合而成，浸泡时间以银层全部脱落为主，尽可能时间长，中间需要补充硝酸。

3.根据权利要求1所述的所述基于真空溅射腔室的贵金属回收工艺，其特征在于：所述步骤3中的氢氟酸溶液浓度配比为实验级氢氟酸和纯水1:10混合而成，其浸泡时间为10-20秒，以钛板表面起反应为止。

4.根据权利要求1所述的所述基于真空溅射腔室的贵金属回收工艺，其特征在于：所述步骤4中的喷砂处理，使得钛板表面粗糙度变大，钼片放置在上面时，可防止钼片滑动。

5.根据权利要求1所述的所述基于真空溅射腔室的贵金属回收工艺，其特征在于：所述步骤5中的过滤纱布为正常过滤纱布，其可过滤溶液中的沉淀钌或氢氧化钌。

6.根据权利要求1所述的所述基于真空溅射腔室的贵金属回收工艺，其特征在于：所述步骤6中的硝酸溶液的浓度配比为:68%硝酸和纯水1:1混合而成，尽可能时间长。

7.根据权利要求1所述的所述基于真空溅射腔室的贵金属回收工艺，其特征在于：所述步骤7中的烘干温度为100℃，时间为沉淀干燥为止。